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真空微电子荧光平板显示器件的实验研究
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摘要
描述了真空微电子荧光平板显示器件的工作原理,提出了采用反应离子刻蚀法制作大规模场致发射阵列的工艺,在动态真空系统中测定了荧光平板显示器件的场发射特性,并获得了结果。
作者
李志能
刘杰明
陈秀峰
机构地区
浙江大学信息与电子工程学系
出处
《真空科学与技术》
CSCD
1996年第4期292-295,共4页
Vacuum Science and Technology
基金
博士点基金
浙江省自然科学基金
关键词
真空微电子学
荧光平板显示器
显示器件
分类号
TN141 [电子电信—物理电子学]
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真空科学与技术
1996年 第4期
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