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GH-1型光绘图机系统通过院级鉴定
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摘要
光绘图机是制作印刷线路掩膜版的专用设备,用光绘图机绘制印刷线路板掩膜是当今国际上最先进的一种工艺手段。由中国科学院电工研究所和北京集成电路制版服务中心联合研制的GH-1型光绘图机系统。
作者
杨慎忠
机构地区
中国科学院电工研究所
出处
《电工电能新技术》
CSCD
北大核心
1990年第3期48-52,共5页
Advanced Technology of Electrical Engineering and Energy
关键词
光绘图机
印刷线路
模版加工
分类号
TN430.5 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电工电能新技术
1990年 第3期
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