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利用现有集成电路韩开发出量产纳米元器件技术
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摘要
韩国汉城大学一个研究小组10月16日宣布开发成功一种利用现有集成电路生产设备大量生产纳米元器件的技术，成品元器件具有高集成度和高精度。
出处
《炭素技术》
CAS
CSCD
2006年第5期27-27,共1页
Carbon Techniques
关键词
纳米元器件
器件技术
集成电路
开发
生产设备
汉城大学
高集成度
高精度
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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炭素技术
2006年 第5期
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