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两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题通过验收

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摘要 9月24日，光电国家实验室MEMS研究部两项“863”计划自动化领域MEMS专项课题——“低成本、高性能真空熔焊封装关键技术与装备的研究”和“基于MEMS技术的胰岛素泵的研究”验收会在我校举行．

出处《华中科技大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第11期89-89,共1页 Journal of Huazhong University of Science and Technology(Natural Science Edition)

关键词 MEMS技术 “863”计划自动化国家实验室低成本胰岛素光电

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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华中科技大学学报（自然科学版）

2006年第11期

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