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超声加工表面粗糙度与精度

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摘要超声加工(USM)通常用于半导体、玻璃、石英、陶瓷、砖、锗、铁氧体等硬脆材料的加工。光学元件及电子元件对表面粗糙度和加工精度要求很高。Markou研究了表面粗糙度随加工参数而变化的规律。他改变超声振动的幅值、磨料粒度、携带磨料的液体类型,得出的结论是表面粗糙度与材料去除速度的平方根成正比:

作者徐文骥

机构地区大连理工大学

出处《电加工》 1990年第2期18-22,共5页

关键词超声加工表面粗糙度精度

分类号 TG663 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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电加工

1990年第2期

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