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硅—工艺学的演化和未来

Silicon Evolution and Future of a Technology

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摘要本书为关于硅材料的工艺学发展、演化和今后新进展的专著。硅的应用广泛，是一种重要的应用材料，因此硅的研究受到重视。

作者李国栋

机构地区中国科学院物理学研究所

出处《国外科技新书评介》 2006年第10期1-1,共1页 Scientific & Technology Book Review

关键词硅材料工艺学演化应用

分类号 TN304.12 [电子电信—物理电子学]

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国外科技新书评介

2006年第10期

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