摘要
应用材料公司平面显示事业部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代玻璃基板上制造大尺寸LCD电视屏幕的平面显示器生产系统。全新设计的AKT-55K EBT(电子束检测),AKT-55K PECVD(等离子加强化学气相沉积)和AKTNEW ARISTO^TM 2200彩色滤光板溅射系统在8.5代基板上实现了制造6块55英寸LCD电视屏的高效率生产。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期961-961,共1页
Semiconductor Technology