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应用材料为8.5代平面显示器制造商推出高产能生产系统

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摘要 应用材料公司平面显示事业部AKT近日宣布推出第一批在全球最大的8.5代玻璃基板上制造大尺寸LCD电视屏幕的平面显示器生产系统。全新设计的AKT-55K EBT(电子束检测),AKT-55K PECVD(等离子加强化学气相沉积)和AKTNEW ARISTO^TM 2200彩色滤光板溅射系统在8.5代基板上实现了制造6块55英寸LCD电视屏的高效率生产。
出处 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期961-961,共1页 Semiconductor Technology
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