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提高双频激光干涉仪对准精度的一种方法
被引量：
2
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摘要
本文介绍利用三面直角反射棱镜,提高双频激光干涉仪对准精度,减小测量误差的一种方法。
作者
聂恒敬
刘文文
机构地区
合肥工业大学
出处
《上海计量测试》
1996年第6期19-19,23,共2页
Shanghai Measurement and Testing
基金
国家自然科学基金
关键词
干涉仪
双频激光干涉仪
精度
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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上海计量测试
1996年 第6期
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