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高纯二氯二氢硅的生产和应用 被引量:3

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摘要 叙述了二氯二氢硅的主要生产方法及其用途。
作者 孙福楠
出处 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 1996年第11期27-28,共2页 New Chemical Materials
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