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迈克耳孙干涉仪在精密尺寸测量中的应用 被引量:1

Application of Michelson Interferometer in Precise Size Measure
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摘要 应用物理学中的迈克耳孙干涉仪知识,介绍其在精密尺寸测量中的运用。即将被测物体尺寸与标准量块在迈克耳孙干涉仪上进行比较,然后通过测量尾数差,来确定两者的差值,从而获得被测物体尺寸的准确值。 Appling Michelson interferometer knowledge in physics, its application of precise size measure is introduced. Comparing the object size with standard gauge blocks, in the Michelson interferometer, then through to measure the tail number disparity, the difference of the both is obtained, thus the accurate size of the object is acquired.
出处 《测控技术》 CSCD 2006年第12期5-6,共2页 Measurement & Control Technology
基金 攀枝花市应用技术研究与开发资金项目(2006CY-G-11)
关键词 干涉 量块 被测尺寸 尾数差 interference gauge blocks measured size tail number disparity
  • 相关文献

参考文献1

  • 1施文康,等.检测技术[M].北京:机械工业出版社,2002:46-47.

共引文献5

同被引文献9

引证文献1

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