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AlN陶瓷在空气中高温下的氧化行为 被引量:7

OXIDATION BEHAVIOR OF SINTERED ALUMINUM NITRIDE CERAMICS EXPOSED TO AIR AT HIGH TEMPERATURE
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摘要 在空气中900~1200℃的高温下,研究了添加Y2O3常压烧结AlN陶瓷的氧化行为。用电光天平测量了氧化后AlN陶瓷的相对质量变化△m随氧化温度及时间的变化规律。运用扫描电镜(SEM)。 The oxidation behavior of aluminum nitride ceramics sintered under normal pressure,containing Y 2O 3 as a sintering aid was investigated. Samples were exposed to air at temperatures from 900℃ to 1000℃.Variations of relative mass of the sample correlated to temperature and time was investigated by the electrooptic balance.The morphology of AlN surface was studied by SEM,and the phase on the sample surface was analyzed using the XRD method.
作者 谢进 徐传骧
出处 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第6期699-702,共4页 Journal of The Chinese Ceramic Society
关键词 氮化铝陶瓷 氧化 陶瓷 高温 aluminum nitride ceramic,oxidize,variation of relative mass,αalumina
  • 相关文献

参考文献1

  • 1黄汉尧,半导体器件工艺原理,1985年

同被引文献30

引证文献7

二级引证文献20

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