用于平板显示制造中的真空设备——BOC Edwards特有的模块组合系统
出处
《电子工业专用设备》
2006年第12期68-69,共2页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
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1Edwards在SEMICON China2012展会上展示先进真空技术[J].半导体技术,2012,37(4):327-327.
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2张德明.电真空设备上几种特殊金属材料锻造[J].四川真空,1990(3):20-23.
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3Edwards在SEMICONChina2012展会上展示先进真空技术[J].电子世界,2012(7):7-7.
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4Mercury^(TM)1500V数字输出编码器 美国MicroE Systems公司[J].传感器世界,2013(6):51-51.
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5伊藤隆生.（日本）电子产品成膜技术的动向[J].真空,1998(3):1-10. 被引量：3
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6EDWARDS将在2014SEMICON^R CHINA展会上展示世界领先的真空设备和尾气处理系统[J].半导体技术,2014,39(4):315-315.
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7EDW ARDS发布用于LED和化合物半导体制造的新型真空泵[J].塑料制造,2012(9):60-60.
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8Edwards在中国青岛举行奠基仪式[J].中国集成电路,2013,22(7):16-16.
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9京运通真空设备厂研制的8英寸硅单晶炉成功地生长出太阳能级硅单晶[J].半导体技术,2004,29(5):117-117.
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10江兴.我国自行研制的8英寸硅单晶炉成功地生长出太阳能级硅单晶[J].半导体信息,2004,0(5):19-19.
