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砷化氢尾气处理方法的研究
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摘要
采用氧化铜—氧化锌系脱胂剂处理剧毒尾气中的砷化氢,在不同的操作条件下对该脱胂剂的脱胂性能进行了实验研究,结果表明,在温度为200℃,空速为2.7×10 ̄4h ̄(-1)的条件下,穿透脱胂容量为270.9mg/g,脱胂深度在1×10 ̄(-8)以下。
作者
郭秀丽
机构地区
化工部光明化工研究所
出处
《山东化工》
CAS
1996年第3期27-29,共3页
Shandong Chemical Industry
关键词
砷化氢
废气处理
半导体工业
分类号
X770.1 [环境科学与工程—环境工程]
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