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沉积速率对各向异性Nd-Fe-B薄膜的结构及磁性能的影响

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摘要中国科学院金属所的研究人员对应用磁控溅射法制备NdFeB薄膜时，沉积速率对薄膜的组织结构及性能的影响进行了研究。

作者孟南(编译)

出处《金属材料研究》 2006年第4期9-9,共1页 Research on Metallic Materials

关键词沉积速率各向异性 Nd-Fe-B薄膜薄膜结构磁性能

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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金属材料研究

2006年第4期

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