摘要
概述了含有Ｐｄ化合物、吡啶磺酸或其盐／吡啶羧酸或其盐等组成的Ｐｄ镀液，可以获得适用于半导体器件制造用的高纯度Ｐｄ镀层。
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期42-43,共2页
Semiconductor Technology
同被引文献13
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