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混合微电子技术用关键材料的新进展
被引量:
1
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摘要
概述了混合微电子技术用关键材料的种类和现状,讨论了混合微电子产品对不同材料的基本要求,分析了各种材料的特点,列出了相关材料的详细数据,指出了这些材料的发展趋势。
作者
程阜民
机构地区
合肥电子部
出处
《电子工艺简讯》
1996年第12期10-15,共6页
关键词
混合集成电路
多芯片组件
基板
材料
分类号
TN45 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工艺简讯
1996年 第12期
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