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高纯双氧水厂在苏州落成
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摘要
高纯双氧水是半导体生产中不可缺少的配套材料,过去这一产品主要依赖进口,如今这一历史宣告结束。2006年10月24日,国内首家生产高纯电子双氧水企业——苏瑞电子材料有限公司在苏州吴中经济开发区落成投产,主要生产的100×10^-12级别高纯双氧水为200mm-300mmIC企业提供配套。
机构地区
《电子与封装》通讯员
出处
《电子与封装》
2006年第12期43-43,共1页
Electronics & Packaging
关键词
双氧水
高纯
苏州
半导体生产
水厂
配套材料
电子材料
经济开发区
分类号
TQ123.6 [化学工程—无机化工]
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电子与封装
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