TFT阵列工艺简化

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摘要三星电子成功开发了3套掩模版TFT阵列工艺技术。一般TFT阵列工艺采用5或4套掩模版技术制作TFT阵列，3套掩模版工艺与4套掩模版工艺相比较，缩短工序，降低生产成本，生产能力提高20％，将增强企业的竞争力。

出处《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期598-598,共1页 Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays

关键词 TFT阵列工艺简化技术制作生产成本掩模版三星电子能力提高竞争力

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液晶与显示

2006年第6期

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