CL—Ⅱ型超声键合机的超声电源和超声振动系统

本文介绍了新研制出的CL—Ⅱ型超声键合机上采用的超声电源和超声振动系统。该机超声电源采用一改进型哈托莱功率振荡器,提供了理想的振动频率,并通过反馈电路在焊接过程中不断作瞬时频率调整以配合换能器之振动频率,实现频率自动跟踪。超声振动系统采用高阻抗压电换能器,并配以放大系数高的圆柱杆复合悬链线形变幅杆,保证了键合质量的稳定性和可靠性。