空气静压润滑工作台系统的研制

在研究工作中,成功地研制了实现超精密位移的空气静压润滑工作台系统,避免了油液的污染。包括丝杠系统在内,工作台系统所有的相对滑动部件均为空气静压润滑。对工作台系统的静态刚度和工作台平移的精度进行了实验研究。静态刚度测量值在进给方向为8N/μm,垂直方向为160N/μm。工作台系统的定位误差用激光干涉仪测量,其数值小于70nm。因空气润滑各个部件使得摩擦阻力很小,故工作台系统移动完全没有空回现象。总之,所研制的空气静压润滑工作台系统的确是一种运动非常平稳精度很高的超精密机械部件。