用阴极电弧源实现离子渗金属

前 言 近几年,在金属材料表面改性的工艺中出现了许多新的技术。其中真空镀膜、离子注入、离子渗较为典型。镀膜是在金属表面覆盖一层性质优良的材料,以此来改善金属材料的耐腐蚀性、耐磨性;离子注入是把要注入的离子加速,使其具有一定的能量,然后打入到金属表面,使金属表面产生晶体缺陷,从而改善了性能。介于镀膜与离子注入之间的是离子渗。在很早以前就出现了渗碳、渗硼、渗氮以及非金属多元渗的技术。