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实用静电防护工艺

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摘要 5 静电敏感器件的静电击穿(或软击穿)原理静电敏感器件的绝缘层(氧化膜)遭到静电损害,使之击穿而完全失效,称为静电击穿,或叫硬击穿;若遭到静电轻微击伤,而在正常的组装,检测工作中不易发现,经过多次加工后,甚至已随整机投入正式运行过程中才发现故障,这种轻微击伤称之为软击穿。
作者 黄能斌
出处 《电子工艺技术》 1990年第6期51-53,共3页 Electronics Process Technology
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