微电子机械系统及其应用
摘要
本文介绍了微电子机械系统及其技术的一般含义，并对微电子机械系统的典型结构作了详细阐述，最后对其应用前景进行了简单分析。
出处
《电子机械工程》
1996年第6期1-4,共4页
Electro-Mechanical Engineering
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