异质外延生长金刚石薄膜的研究

本文用氢气、丙酮作为气体源，用微波等离子体化学气相沉积方法，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上进行了金刚石薄膜异质外延生长的研究。用ＳＥＭ、ＭＬＲ和Ｘ—ｒａｙ衍射方法对试验结果进行了观察、分析。通过实验发现，在ＣＢＮ单晶的（１１１）晶面及单晶硅的（１００）晶面上直接实现金刚石薄膜的异质外延生是不太可能的。