用于集成化学分析系统的微型泵和采样注入器

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摘要用微机械加工的方法,可以制作超小型的高性能化学传感器和用作流量控制的微型阀.如果这些器件被集成在一块硅片上,就能制成非常小的常规化学分析系统.这种微型分析系统优点是灵敏度高,响应快,几乎有没死区,所需的采样量非常少.为了制作诸如流体注入分析器(FIA)这样完善的化学分析器单片集成系统,必须把微型泵和采样注入器造在硅片上.微型泵由一个压力执行器,二个逆止阀和一个由压力执行器驱动的薄膜片组成,这个结构如图1所示.逆止阀用多晶硅作为材料,磷硅玻璃(PSG)作为牺牲层,制造工艺和IC工艺完全兼容.

作者 Shuichi Shoji Shigeru Nakagawa Masayoshi Esashi 柯导明(译) 时龙兴(校)

机构地区 Department of Electronic Engineering 不详

出处《电子器件》 CAS 1990年第3期52-52,44,共2页 Chinese Journal of Electron Devices

关键词集成化学分析系统微型泵注入器

分类号 O652.2 [理学—分析化学]

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