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集成微形流量控制系统(特邀报告)

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摘要 <正>在硅片上集成微形阀门和流量传感器有许多优点.例如,可忽略的死区、流量传感器的快速响应和小尺寸.一个集成的流量控制器,其有正常的常开微形阀门和微形流量传感器,响应速度达10毫秒~1.将一个常闭的微形阀门、一个三通阀门和微形流量传感器制备在硅片上,便可作为一高级的集成微形流量控制系统.

作者孙国梁 MasgyoshiEsashi

机构地区 Tohoku University Sendai

出处《电子器件》 CAS 1990年第3期51-51,50,共2页 Chinese Journal of Electron Devices

关键词流量控制微型集成阀门传感器

分类号 TH137.522 [机械工程—机械制造及自动化]

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