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电子探针的维修

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摘要 电子探针已被广泛地用来观察各种物质表面超微结构形态和成份组成。我院EPM-810电子探针从1984年安装使用以来,共完成了试样成份分析4千余件,摄片3千余张。下面是我们对该仪器维修情况进行介绍:一,维修前的准备工作:1.全面热悉仪器各系统工作原理、电路图,特别是各种信号的流向、处理及相互关系。我们根据制作该仪器的岛津公司提供的资料及实际部件分为:①,主体部分;②,X射线谱仪、X射线信号和样品台控制系统;③,电子光学和电子信号控制系统;④,真空系统;⑤电源系统;⑥M_(243)微机控制系统;⑦显示记录系统。2.故障出现后,详细了解全面观察内外现象,尽量缩小故障范围。根据测试参数正确判断故障部位,勿不经慎重考虑任意动手换元件,调整工作点等。
作者 周善民
出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 1990年第3期263-263,共1页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
关键词 电子探针 维修

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