微细复合金属线材的电子显微分析技术

用电子探针剖析成份结构复杂、多相质软的微细复合金属线材,制样和分析都需要特殊技术。根据高原子序数衬度分辨率的截面图像,分清单相还是多相,单相用常规分析法定量,多相一般要用RUSS法定量,否则结果不准确。常规探针制样因污染得不到高原子序数衬度分辨率的图像。本文用显微切削法抛光样品剖面,见图1、2。对二个试样作了定量分析,结果见表。试样1芯部一个相尺寸小于探针分析点,邻相元素(snPb)被同时激发,据Zn与Sn和Pb在溶度极低,得该相实际只含Zn元素。对分析层厚小于探针分析点的夹层,沿界面切削可获得大于分析点的夹层分析面。