电镜自动真空系统的微机控制

电镜真空系统的自动控制一般采用逻辑电路控制和微机控制。在目前国内所拥有的进口电镜中,都是采用逻辑控制。我们在研制DXS-3型高性能扫描电镜中对这两种控制方法进行了分析,我们认为:微机控制采用的是大规模集成电路,电路简单,成本较低,维修方便;由于采用的软件控制,故能够灵活地设置抽气状态,且通用性强。 DXS-3型扫描电镜的真空系统,具有上台和下台两种抽真空方式,同时还配备有上样品室和下样品室两种换样气锁室的予抽真空系统和枪室换灯丝予抽真空系统(见图1)。