高温热氧化工艺的统计模拟

本文具体介绍了高温热氧化工艺的统计模拟方法,并在此基础上对一种具体氧化工艺进行了计算和分析,指出了合理选择氧化工艺参数搭配的途径,对小尺寸集成电路的制造有一定实际意义。