质子交换LiNbo_3波导的特性研究

本文研究了采用质子交换与退火工艺相结合所制作的LiNbn_3波导的特性。用WKB法测量了折射率分布剖面,并提出一种新的两棱镜法测量了波导损耗。结果表明:质子交换与退火工艺相结合,可使LiNbo_3波导的表面折射率降低0.0363,波导层向衬底内扩展,折射率剖面变为渐变形,同时损耗降低到0.4dB。