AEM薄样品的定量分析方法研究

薄样品的定量分析一直是分析电镜努力解决的问题。也是目前国际上关注的热门课题之一。AEM薄样品定量分析的关键在于如何获得准确实用的K值,即Cliff-Lorimer因子。目前这方面的数据还很不系统和完善。本文采用“电子探针纯”矿物标样对某些元素的K因子进行了实验标定。同时着重考察了用不同的分析电镜分析时K因子的变化,讨论丁K因子的影响因素及其普适性。标准样品为经过准确地化学成份分析及均匀度和稳定度检查的电子探针标样:黑云母,黄铁矿、淡红银矿、方钠石和黝方石、(成份略)。实验时先把样品精磨成极细的粉末,研磨时注意避免样品热损伤。然后放在碳支撑膜上进行分析。每个样品至少分析十个颗粒,求其均值。选样的准则是“薄”—在电子束照射下透明。其次是平整。电镜工作电压为100kV,计数率在700～1000CPS,分析时间一般为100秒。