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谈蚀刻设备与真空蚀刻机
被引量:
1
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摘要
本文叙述了蚀刻机的发展,及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。
作者
龚永林
机构地区
上海美维科技有限公司
出处
《印制电路资讯》
2007年第1期56-59,共4页
Printed Circuit Board Information
关键词
蚀刻设备
传送
摆动与喷嘴
真空蚀刻机
分类号
TN410.57 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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