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纳米管工艺进入半导体厂量产
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摘要
从事非易失性存储器的厂商Nantcro公司日前宣称自己是全球第一家将碳纳米管引入半导体制造厂进行量产的厂家。
出处
《电子工业专用设备》
2007年第1期50-50,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
半导体厂
碳纳米管
非易失性存储器
工艺
制造厂
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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电子工业专用设备
2007年 第1期
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