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美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向
被引量:
2
Research Trends of MEMS Devices in American Biomedical Circle
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摘要
本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。
This article briefly introduces UK- research trends of MFMS ( microelectronics and machinery system) micro transducers and MEMS microsystems in American biomedical circle.
作者
黄智伟
李富英
出处
《世界产品与技术》
1996年第6期15-16,共2页
关键词
MEMS
微电子机械系统
生物医学
微传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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