美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向被引量：2

Research Trends of MEMS Devices in American Biomedical Circle

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摘要本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。 This article briefly introduces UK- research trends of MFMS ( microelectronics and machinery system) micro transducers and MEMS microsystems in American biomedical circle.

作者黄智伟李富英

出处《世界产品与技术》 1996年第6期15-16,共2页

关键词 MEMS 微电子机械系统生物医学微传感器

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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同被引文献36

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