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厚膜多层布线介质的研制
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摘要
新型厚膜多层线布及交叉介质材料达到了美国杜邦公司同类产品的技术水平。它既可以在空气中烧成,又可以在氮气中烧成。本文还探讨了若干关键的技术性问题。
作者
王正义
机构地区
机电部第
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1990年第4期42-45,共4页
Electronic Components And Materials
关键词
厚膜
多层布线
介质
分类号
TN405.97 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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