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热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响 被引量:2

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摘要 本文叙述热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响。通过实验采用适用的热处理工艺,使电阻器的温度系数和潮湿系数得到明显改善。
出处 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1990年第5期43-46,共4页 Electronic Components And Materials
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