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热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响
被引量:
2
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摘要
本文叙述热处理工艺对化学沉积金属膜电阻器电性能的影响。通过实验采用适用的热处理工艺,使电阻器的温度系数和潮湿系数得到明显改善。
作者
刘仲娥
王文生
机构地区
天津大学电子工程系
出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
1990年第5期43-46,共4页
Electronic Components And Materials
关键词
金属膜
电阻器
热处理
电性能
分类号
TM544.405 [电气工程—电器]
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电子元件与材料
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