摘要
为了在金刚石夹内安装金刚石，使得金刚石顶切面水平并位于预定高度，金刚石定位在注射模制工具中，使得金刚石通过插件向上推动。弹性体注射模制在金刚石夹环内并将金刚石固定保持在金刚石夹环内，其中弹性体位于金刚石的支承边缘的前后部。尽管出现弹性体收缩，金刚石的顶切面设置成严格地平行于金刚石夹环的上下表面，顶切面仅略微低于金刚石夹环的顶部限定的平面。以此方式，在金刚石顶切面施加光致抗蚀剂之后，金刚石夹可放置在设备的台板上以便通过微刻形成标记。为了烘焙抗蚀剂，金刚石夹放置在具有包括结合物小滴的空腔的珀尔帖热泵的加热器尖端之上，为了快速加热金刚石，控制烘焙期间的时间和温度，并快速冷却金刚石。
