DFM接纳制程可变性

EDA供应商已经开始通过提供各种针对化学机械抛光（CMP）和光刻制程的产品来解决制程可变性问题。一项专门针对晶体管参数可变性的新技术已被开发出来．它使用TCAD来了解那些最终可能会影响器件性能和成品率的基本物理现象。目前．Synopsys正在向业界推出一种名为“具备制程知识的可制造性设计（PA—DFM）”的解决方案．用于在定制／模拟设计阶段分析可变性对45nm器件的影响。