先进计量应对新材料和制程复杂度的挑战
摘要
45nm节点以下的计量要求将变得非常复杂,需要在集成计量与瑞士军刀式的全能平台之间取得平衡。
出处
《集成电路应用》
2007年第1期40-44,共5页
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