TDG—28型大直径区熔单晶炉

本文介绍了TDG-28型大直径区熔单晶炉的主要技术指标和性能特点。该炉在一定的工艺条件下可以稳定生产直径为75mm～100mm的高阻率无位错单晶硅。由于采用铸铁件结构使该设备具有一定的防震吸震能力,故无需安装庞大的减震器防震基座。在国内首次使用晶体夹持机构和伸缩炉体是该炉的两个重要特点。采用可控硅链式触发器进行可控硅调压,使高频振荡器输出功率稳定性好,效率高,且有较好的节能效果。