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1994~1995年日本气体设备综述

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摘要 1994~1995年日本气体设备综述1空分装置1.1低温空分装置1994年制作的低温空分装置总计为27台,比上一年增加3台,实际上无大型装置出现。大型装置主要用于在电子工业中生产N2。所制造的27台装置中有11台用于半导体工业,小型现场装置的数量正在...
出处 《低温与特气》 CAS 1996年第4期6-10,共5页 Low Temperature and Specialty Gases
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