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J-A2500型等离子体射频发生器的维修及配件国产化

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摘要 通过对JA2500型等离子体射频发生器的维修,介绍了进口大功率发射管5CX1500A、匹配盒内高频高压陶瓷电容器及自动功率控制电源厚膜块等仪器配件的国产化。
作者 王杨军
出处 《分析测试仪器通讯》 1996年第4期242-243,共2页
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