出处
《微电子技术》
1996年第1期12-20,共9页
Microelectronic Technology
二级引证文献6
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1侯华波,喻李葵,万雄峰.洁净室流场数值模拟的研究进展[J].建筑热能通风空调,2005,24(1):38-43. 被引量:6
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2姜伟康,章汝熙.微电子工业与洁净技术的发展[J].洁净与空调技术,2005(4):21-28. 被引量:1
-
3丛明,杜宇,沈宝宏.硅片传输单元洁净系统的研制[J].半导体技术,2006,31(9):656-659. 被引量:3
-
4倪卫,熊迁,谭宁,曹庭分,贺少勃.洁净保持箱洁净处理风速的分析[J].液压与气动,2011,35(6):26-28.
-
5陈球.百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法[J].微电子技术,2001,29(1):60-64. 被引量:3
-
6范存养,徐文华,林忠平.微电子工业空气洁净技术的若干进展[J].暖通空调,2001,31(5):20-38. 被引量:13
-
1杨生,吕坚慧.BBC研究开发部技术述评(上)[J].国际广播电视技术,1995,9(3):6-10.
-
2邓楠.信号合成技术述评[J].电子战技术文选,1996(6):21-26.
-
3王树甲.3G移动通信技术述评[J].邮电商情,2002,9(12):11-17.
-
4刘玉书,王庆丰.集成功率电子器件技术述评[J].半导体技术,1990,6(5):10-15.
-
5李松法.化学汽相淀积(CVD)技术述评[J].半导体情报,1989(2):1-8.
-
6杨生,吕坚慧.BBC研究开发部技术述评(下)(续)[J].国际广播电视技术,1995,9(6):8-11.
-
7陈绍丽,吴俊民.微环境技术中灵敏跟踪系统的研究及设计[J].微计算机信息,2001(11):4-5.
-
8严韬,陈建文,罗欢,鲍拯.新体制天波超视距雷达技术述评[J].飞航导弹,2015(3):71-76. 被引量:6
-
9朱宝明.俄罗斯低成本相控阵技术述评[J].电子工程信息,1996(12):14-19.
-
10潘承志.CO2激光器技术研究述评[J].激光集锦,1991,1(1):7-14.
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