氮化硅绝缘介质膜的SAM分析研究

本文讨论了扫描俄歇微探针（SAM）的绝缘介质膜分析，重点研究了氯化硅介质膜的SAM分析。借鉴国内外绝缘介质膜的SAM研究成果，通过多种方法消除电荷积累效应，克服SAM仪器本身的局限，取得了满意的分析结果。