日立S-570SEM吸收电子象干扰条纹故障的排除

The Removing of Obstruction Stripe for Absorb Electron Image on Hitachi S—570 Scanning Electron Microscope

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摘要本文介绍了日立S—570SEM吸收电子象干扰条级故障的排除方法。 This paper presents the method of removing obstruction stripe for absorb electron image on hitachi S-570scanning electron microcope.

作者刘岩

机构地区辽宁大学实验中心

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1989年第3期79-80,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词 SEM 吸收电子象干扰条纹故障

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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电子显微学报

1989年第3期

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