摘要
在1280旋转Y切割X传播方向上的L iN bO3基片上设计并研制了Y型声表面波器件。它将输入IDT激发的声表面波轴对称分成两路并由各自的输出IDT检测输出。应用P矩阵法分析了其中一输出IDT检测输出的一次时延信号、三次渡越反射信号和五次渡越反射信号与输入IDT所加的电信号之间的关系式,并应用网络分析仪测量Y型声表面波器件幅度特性,结果表明,理论分析与实验结果基本相符。
Y type SAW devices fabricated on 128° rotated Y cut X LiNbO3 are reported. SAW excited by input IDT is divided axisymmetrically into two paths detected by respective output IDT. P matrix analysis method is used to develop the relationship of SAW signal propagations between input and output, which includes once time delay signal, triple reflection signal and quintuple reflection signal. Amplitude characteristics of Y type SAW device are tested by network analyzer and are close to theoretical frequency response.
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第1期115-118,共4页
Research & Progress of SSE
基金
国家自然科学基金资助项目(60176027)
浙江省教育厅科研项目(20040929)
宁波大学校基金资助项目(200440)
关键词
声表面波器件
P矩阵
声电再生
surface acoustic wave device
P matrix
acoustoelectric generation
