传统半导体厂商对MEMS的思考

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摘要最近几年来MEMS技术在国内外得到了迅猛的发展，MEMS产品已经有了开拓性的应用，MEMS产业链将会迅速崛起，预计2007年，全球MEMS元器件销售总额将突破70亿美元。

作者颜重光

机构地区上海贝岭股份有限公司

出处《电子设计应用》 2007年第3期28-28,30,共2页 Electronic Design & Application World

关键词 MEMS技术传统半导体厂商国内外开拓性产业链元器件

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电子设计应用

2007年第3期

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