ICP发射光谱仪高频电源原理与故障分析

高频电源是电感耦合等离子体发射光谱仪的重要组成部分。由于高频电源处于高压、高频、大功率的工作状态,因此出现故障的几率较高。本文介绍美国 LEEMAN 公司生产的 PLAS-MA-SPEC 顺序直读电感耦合等离子体发射光谱仪的高频电源原理和故障分析检修实例,供同行参考。PLASMA-SPEC ICP 发射光谱仪高频电源发生器是由调谐腔振荡器组成的。