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国内首台全自动键合机研制成功
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摘要
日前,由中国电子科技集团某所承担的科技部国际科技合作项目“全自动键合机技术合作”,通过了国家级验收,标志着国内首台全自动键合机研制成功。与会专家一致认为,这台全自动键合机的部分关键指标已经超过了俄罗斯同类产品,将改变我国半导体生产设备大多依赖进口的局面。
出处
《中国科技产业》
2007年第3期114-114,共1页
Science & Technology Industry of China
关键词
键合机
全自动
国内
半导体生产设备
科技合作项目
技术合作
电子科技
科技部
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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中国科技产业
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